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华润微电子实施DF管式微滤膜处理酸废水回收利用项目
《无锡日报》记者 高颖 / 时间:2010-12-14 09:21:51
  据太湖明珠网2010年12月12日讯 在华润微电子有限公司,以往年产值十多亿元时每月用水量近40万吨;如今,年产值翻了三番,每月用水却降至不到30万吨。公司负责人近日告诉记者,企业致力于创建环境友好型企业,不断推动节能技术进步,进而推动产品结构转型升级,经过近五年的努力,万元GDP能耗下降了54%。
  抓好节能减排的关键工作,从一个个技术难点开始攻关。水处理循环利用是半导体产业节能的一大瓶颈。制造工艺和动力部门联合进行技术攻关,经过2年多的努力,华润微电子首先在研磨废水利用上取得了突破,通过沉降再生技术,这些水全部变成了相当于自来水的原水。今年,制造工艺中50%的制程水都将成功转化为原水,目前整个企业80%的用水已实现了循环利用。
  从消除跑冒滴漏,到节电、节气、节水;从局部系统节能,到今年开始实施中央系统节能,华润微电子逐步推进节能减排工作。“十一五”期间企业共投入节能减排资金3751万元,用于淘汰落后尤其是高能耗设备,引进新设备;节能方案和目标列入企业每年的第一号“议案”,先后实施了制程水再生利用、空调冷冻系统智能联动、余热综合利用、DF膜(管式微滤膜)处理酸废水回收利用等一系列节能项目。
  三年来,企业实施的节能减排项目超过了100个,企业负责人亲自带队,从一线及技术部门抽调人员组成一个个核心技术团队开展攻关,其中在半导体行业内首创的余热利用系统等技术已申请国家专利。企业通过一系列节能减排项目节约的费用达到了8949万元。