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浙江金瑞泓将再生水反渗透制成超纯水用于硅材料生产
北仑新闻网记者 刘慧敏 / 时间:2015-09-10 07:20:45

  据北仑新闻网2015年9月9日讯 今年4月以来,位于保税东区的浙江金瑞泓科技股份有限公司用再生水制备超纯水,用于硅材料生产。目前,公司用再生水制备超纯水的数量已经达到每月3.8~3.9万吨,占超纯水制备量的6成以上。
  记者了解到,该公司的再生水引入工程建设已取得关键进展,今年1月中试设备正式投入使用。从4月份开始,公司达标排放废水做深度净化后替代了公司生产中使用的部分自来水,经过微孔过滤、超滤、反渗透膜过滤,制备超纯水,用于多晶硅材料清洗、切膜好的单晶片清洗、硅片抛光过程、硅片冲洗、外延片冲洗等单晶硅抛光片、外延片生产的工艺环节。
  作为国内半导体硅材料生产行业的龙头企业,金瑞泓公司几乎所有的生产环节都需用到大量高品质的超纯水。最近几年里该公司每年都需要使用100多万吨自来水进行超纯水制备。2014年初,金瑞泓公司设备动力部水处理工程师徐吉庆和同事们,开始对从北仑岩东污水厂引入的再生水及公司达标排放废水做深度净化后替代自来水用于超纯水制备这一项目进行可行性研究。经过半年多的技术攻关,研究项目很快取得了突破性进展。在此基础上,金瑞泓公司先后投入了近1000万元用于项目建设,其中仅引进的国内外先进设备就投资600多万元。
  “虽然目前从岩东污水厂引入的再生水数量还不大,但再生水引入工程全部投用后,每年可以为公司减少自来水用量100万吨以上,公司用于生产的自来水用量将几乎降为零。”徐吉庆在接受记者采访时表示。